访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展******
(第五届进博会)访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展
中新社上海11月6日电 题：访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展
中新社记者 李佳佳
元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂，备受外界关注的全球半导体行业供应商ASML在第五届中国国际进口博览会上，首次通过“元宇宙”平台，带来沉浸式的光刻体验，彰显前沿科技。
自1988年交付首台步进式光刻机以来，ASML进入中国市场已有三十余年，见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。
“今年是ASML第四次参展进博会，我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示：“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注，持续支持半导体行业的发展。在进博会，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”
首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅给此间观展者带去了身临其境的独特体验。在ASML元宇宙空间里，观展者可以“亲身”进入无尘室，近距离接触神秘的光刻机，更可以结合影视级效果的3D裸眼视频，了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版，再穿过掩模版上的电路图案，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样的科普视频，令观展者沉浸式了解更多有关ASML的故事。
“每年我们都会思考以什么样的形式参加进博会”，沈波说，去年，进博会的集成电路专区设立，凸显了外界对产业的关注和重视。希望未来在设立专区的基础上，能够增加宣传和引导，比如举办一些专题或者小论坛，以加深外界对行业的了解。
其实，除了光刻机，ASML在芯片制造的成像环节也会提供全方位的光刻解决方案，从光刻机设备本身到计算光刻软件，再到芯片生产过程的量测、缺陷的检查等，ASML均有涉猎。“我们更想跟大家讲讲怎么帮助客户在芯片生产的过程中，在我们的环节上做出足够大的工艺窗口，让芯片生产的质量、精度能够控制得更好，或者让客户的技术进步更顺畅地向前。这是我们今年进博会主要的出发点。”
当前，中国已是全世界最大的成熟制程市场，这俨然成为行业的共识。“中国在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色，这是所谓‘不确定性中的确定性’。在这种确定的情况下，中国该怎么发展成熟制程，怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好，从这个角度看，中国市场的潜力是很大的，中国有全世界最大的终端市场，最活跃的应用市场，终端市场、应用市场反过来可以推动上游设计、制造方面的发展创新。”
说起行业未来的发展，沈波坦言，半导体行业自身有一定的周期，有起有伏不是新鲜事。但是从半导体行业过去多年的发展和对未来的预期来看，整体向上的趋势是在的，“只要大趋势在，就会要求有更多的计算、更多的存储、更多新的应用支持，就会带动半导体行业的需求量向上”。(完)
四川眉山发现成都平原迄今最早旧石器时代遗址******
中新网成都1月10日电 (记者 岳依桐)10日，“遂宁市桃花河遗址暨四川旧石器时代考古成果专家研讨会”10日在四川射洪举行。会上透露，眉山新发现一处成都平原迄今最早的旧石器时代遗址——坛罐山遗址。根据光释光测年，初步推测该遗址最早遗存年代距今不低于20万年，填补了成都平原旧石器时代的考古空白。
据介绍，坛罐山遗址位于眉山市东坡区多悦镇滴水村与太和镇马堰村交界处，地处成都平原南部、岷江支流东醴泉河右岸的低缓垅岗上。2019年12月，为配合当地基本建设，四川省文物考古研究院联合眉山市文物保护研究所、眉山市东坡区文化遗产保护中心等单位在坛罐山开展考古调查工作，调查发现一件打制石核及其他文化遗存，在此后的考古发掘中，共出土石制品518件，清理坑、沟等遗迹现象10余处。
经专家确认，该遗址出土石制品大多以砾石为原料，岩性以石英砂岩为主。石制品类型包括石核、石片、断块/断片/碎屑、工具、备料。工具类型除石锤和石砧外，还有砍砸器、刮削器、凹缺刮器、锯齿刃器、重型刮削器、手镐等，另外还有使用过的砾石以及石片。工具多以砾石或断块为毛坯，采用锤击法加工，多见单边、单向修理，整体上属于中国南方砾石石器工业的范畴。
考古发掘现场。 四川省文物考古研究供图专家认为，坛罐山遗址是一处典型的中国南方砾石工业类型遗址，出土石制品与简阳龙垭遗址、资阳鲤鱼桥遗址、重庆铜梁遗址等在石器组合、剥片技术等方面大体相似，石料、石器类型和技术上也较为一致，均属于典型中国南方砾石工业传统。坛罐山遗址也是一处古人类多次光顾、短期活动的原地埋藏遗址，它的发现与发掘，将逐渐揭开成都平原古人类与旧石器时代考古文化的面纱。
中国旧石器考古专业委员会主任高星表示，坛罐山遗址进一步为四川盆地的旧石器时代考古工作提供线索、导向和思路。通过对坛罐山遗址的发掘、梳理、认知，考古工作者已在成都平原新发现了140余处旧石器时代遗址，其中已开展考古发掘的遗址近10处，为下一步构建成都平原乃至四川盆地旧石器年代框架、完善工业体系奠定了坚实的基础。(完)
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